在电子厂电子元件的生产中，室内的微粒子对产品的质量影响极大。所以在电子元件的生产过程中需要严格控制微粒子的数量，遵循“不携入、不发生、不储备、除去“四大基本原则防止微粒子。使用高性能的过滤器可使浮游微粒子浓度达到零水平，实际生产现场可能会受到作业人员、机器、周边器械的发尘及基板运送所接触到的零材料的发尘等，在制造品周围扬起少许微尘子，因而造成元件清洁的粒子污染。

  为了确保作业人员不将微粒子携入到洁净车间

  1.作业人员进入洁净车间前，机台、零件携入前应进行清洁处理；

  2.机器及材料带进净化车间前，应尽可能在密封状态下带进洁净车间前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入净化车间；

  3.进入净化车间者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等；

  4.通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入洁净车间。洁净车间中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。

  在控制最大的污染源-人在洁净车间产生的微粒子的发尘量，还要控制第二大污染源-机器以及物品移动、接触、剥离造成的发尘量。

  控制气流可防止微粒子累积，但对于带电表面的微粒累积就无法防止。为了防止由静电吸附而引起的微粒附着，通常在净化车间内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于制造品本身的带电，则采用带电程度很少的搬送形态及接触部品材料，并藉由除电装置进行除电。

  要求最严格的最高等级的净化车间，天花板到地面，完全除去微粒子的空气须在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流动。这是在约10秒内将室内空气和完全过滤空气完全交换所计算出来的数值。同时，空气的流向也必须要有精确的控制才行。特别要保证气流的流通路径畅通无阻，因为在流通路径中有障碍物的话，容易产生空气空气涡流而形成空气的滞留区域，使得附近已发生的微粒子无法快速排除，从而长时间漂流在洁净车间内，而一部分会附着在周边机器设备的表面而引起污染。 

  在无法避免大量微粒子发生的机台中，为了不让洁净车间内产生微粒子，直接做对外排气的动作，即所谓的局部排气。针对排气的对策如下：由于导入同量的外气是必要的，但会伴随大量的能源消耗。所以无法说是绝对理想的对策。因此尽可能地在压缩排气量的同时，不仅仅是向净化车间外排气，而应采用将除去粒子后的空气再回流到净化车间内之对策。